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電子凈化車間噪音控制有哪些行業標準

2025-04-08
共有1667家企業看過

  電子凈化車間(尤其是半導體、PCB等精密制造領域)的噪音控制需遵循嚴格的行業標準,以確保生產環境穩定、設備正常運行及人員健康。以下是關鍵的噪音控制行業標準及實施要點,具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

  一、國際標準

  ISO 14644系列

  適用范圍:潔凈室及相關受控環境,包含對噪音水平的限制要求。

  關鍵要求:

  潔凈室噪音通常需控制在 65dB(A)以下(空態測試)。

  對于高精密區域(如光刻區),推薦 ≤60dB(A)。

  SEMI標準

  SEMI S2/S8:針對半導體設備的環境、健康與安全(EHS)要求,包含設備噪音限值。

  SEMI F21:涉及分子污染(AMC)控制,間接影響噪音管理策略。

  二、國家標準

  中國《潔凈廠房設計規范》(GB 50073)

  噪音限值:

  一般潔凈區 ≤65dB(A)。

  特殊工藝區(如微電子) ≤60dB(A)。

  隔聲要求:圍護結構隔聲量 ≥30dB。

  《工業企業噪聲控制設計規范》(GB/T 50087)

  關鍵指標:

  長期暴露區域(8小時工作制) ≤85dB(A),但潔凈車間通常要求更嚴格(≤65dB(A))。

  高頻設備需進行頻譜分析,避免共振噪音。

  《聲環境質量標準》(GB 3096)

  適用于廠界噪音控制,通常要求 晝間≤60dB(A),夜間≤50dB(A)。


電子凈化車間


  三、行業特殊要求

  半導體潔凈車間

  設備噪音:

  空調系統 ≤55dB(A)(FFU風機需低噪音型)。

  真空泵/空壓機 ≤70dB(A)(需加隔音罩)。

  工藝控制:避免沖擊噪音(如機械手動作需緩啟動)。

  PCB凈化車間

  關鍵區域:

  曝光區 ≤60dB(A)(防微振需求)。

  電鍍線 ≤70dB(A)(允許適當放寬,但需隔音處理)。

  四、噪音控制措施

  設備選型與布局

  優先選擇低噪音設備(如變頻風機)。

  高噪音設備(如空壓機)集中布置,并遠離敏感區。

  隔音與吸音設計

  墻體/天花板:采用巖棉夾芯彩鋼板(隔聲量≥25dB)。

  地面:防靜電環氧地坪+橡膠減震墊(降低結構傳聲)。

  振動控制

  設備安裝隔振器(如彈簧減震支座)。

  管道采用柔性連接(減少流體噪音)。

  員工防護

  噪音>65dB(A)區域需配備耳塞/耳罩。

  定期進行聽力保護培訓。

  五、檢測與合規

  檢測方法

  使用 聲級計(符合IEC 61672標準)。

  測量點位于 人耳高度(1.5m),每100㎡至少3個測點。

  驗收標準

  空態測試 ≤65dB(A),動態測試允許 ≤70dB(A)(需工藝確認)。

  六、行業趨勢

  智能降噪:采用AI實時監測噪音,自動調節風機轉速。

  綠色標準:新增低頻噪音(<200Hz)限值,減少健康影響。

  如需具體項目的噪音控制方案,建議參考 ISO 14644 和 GB 50073,或咨詢專業凈化工程公司。

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