
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
電子凈化車間(尤其是半導體、PCB等精密制造領域)的噪音控制需遵循嚴格的行業標準,以確保生產環境穩定、設備正常運行及人員健康。以下是關鍵的噪音控制行業標準及實施要點,具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!
一、國際標準
ISO 14644系列
適用范圍:潔凈室及相關受控環境,包含對噪音水平的限制要求。
關鍵要求:
潔凈室噪音通常需控制在 65dB(A)以下(空態測試)。
對于高精密區域(如光刻區),推薦 ≤60dB(A)。
SEMI標準
SEMI S2/S8:針對半導體設備的環境、健康與安全(EHS)要求,包含設備噪音限值。
SEMI F21:涉及分子污染(AMC)控制,間接影響噪音管理策略。
二、國家標準
中國《潔凈廠房設計規范》(GB 50073)
噪音限值:
一般潔凈區 ≤65dB(A)。
特殊工藝區(如微電子) ≤60dB(A)。
隔聲要求:圍護結構隔聲量 ≥30dB。
《工業企業噪聲控制設計規范》(GB/T 50087)
關鍵指標:
長期暴露區域(8小時工作制) ≤85dB(A),但潔凈車間通常要求更嚴格(≤65dB(A))。
高頻設備需進行頻譜分析,避免共振噪音。
《聲環境質量標準》(GB 3096)
適用于廠界噪音控制,通常要求 晝間≤60dB(A),夜間≤50dB(A)。
三、行業特殊要求
設備噪音:
空調系統 ≤55dB(A)(FFU風機需低噪音型)。
真空泵/空壓機 ≤70dB(A)(需加隔音罩)。
工藝控制:避免沖擊噪音(如機械手動作需緩啟動)。
關鍵區域:
曝光區 ≤60dB(A)(防微振需求)。
電鍍線 ≤70dB(A)(允許適當放寬,但需隔音處理)。
四、噪音控制措施
設備選型與布局
優先選擇低噪音設備(如變頻風機)。
高噪音設備(如空壓機)集中布置,并遠離敏感區。
隔音與吸音設計
墻體/天花板:采用巖棉夾芯彩鋼板(隔聲量≥25dB)。
地面:防靜電環氧地坪+橡膠減震墊(降低結構傳聲)。
振動控制
設備安裝隔振器(如彈簧減震支座)。
管道采用柔性連接(減少流體噪音)。
員工防護
噪音>65dB(A)區域需配備耳塞/耳罩。
定期進行聽力保護培訓。
五、檢測與合規
檢測方法
使用 聲級計(符合IEC 61672標準)。
測量點位于 人耳高度(1.5m),每100㎡至少3個測點。
驗收標準
空態測試 ≤65dB(A),動態測試允許 ≤70dB(A)(需工藝確認)。
六、行業趨勢
智能降噪:采用AI實時監測噪音,自動調節風機轉速。
綠色標準:新增低頻噪音(<200Hz)限值,減少健康影響。
如需具體項目的噪音控制方案,建議參考 ISO 14644 和 GB 50073,或咨詢專業凈化工程公司。