
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
電子芯片凈化車間技術要求極為嚴格,這是為了確保在高度敏感和精密的芯片生產過程中,環境不會對產品質量造成任何負面影響。這些技術要求涵蓋了空氣凈化、溫濕度控制、靜電防護、潔凈度監測等多個方面,形成了一個綜合的系統工程。具體就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!
首先,電子芯片凈化車間的空氣凈化系統是其核心所在。這一系統通常包括初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器(HEPA),甚至在某些對潔凈度要求極高的場合,還會采用過濾效率更高的超高效空氣過濾器(ULPA)。HEPA過濾器能夠過濾掉空氣中直徑大于0.3微米的顆粒物,有效去除空氣中的塵埃、花粉、細菌等污染物,對保證車間內空氣潔凈度起著至關重要的作用。而ULPA過濾器則能過濾掉直徑更小的顆粒物,進一步提升了車間的潔凈度。
除了過濾系統,電子芯片凈化車間還配備有負壓系統和正壓控制系統。負壓系統通過保證室內空氣流動,防止外界空氣進入車間,從而避免外界污染物對車間內環境的影響。而正壓控制系統則通過保持無塵車間內部的氣壓略高于外部,防止外部未經凈化的空氣通過門窗縫隙等進入車間內部,進一步確保車間的潔凈度。
此外,換氣與排風系統也是電子芯片凈化車間不可或缺的一部分。換氣系統定期將車間內的空氣排出,并補充新鮮空氣,以保持車間內空氣的流通性和潔凈度。換氣次數根據車間的潔凈度等級有所不同,一般在數千次至數萬次之間。而排風系統則將車間內產生的廢氣、塵埃等污染物通過專門的排風管道排出室外,以減少對車間內環境的污染。
在溫濕度控制方面,電子芯片凈化車間也有嚴格的要求。一般潔凈區溫度應控制在22℃±0.5℃~22℃±2℃或20℃~25℃范圍內,相對濕度應控制在43%±3%~45%±10%或45%~65%RH范圍內。這樣的溫濕度條件能夠確保芯片生產過程中設備的穩定性和產品的質量。為了實現這一目標,車間內通常安裝有溫濕度控制系統,該系統能夠實時監測并調節車間的溫濕度,使其保持在穩定的范圍內。
除了空氣凈化、溫濕度控制外,電子芯片凈化車間還非常注重靜電防護。靜電對無塵車間內的塵埃顆粒具有吸附作用,因此必須采取相應的措施來消除靜電。車間內通常會設置防靜電系統,如防靜電地板、接地系統等,以防止外界靜電影響電子芯片。同時,無塵車間的墻面、地面和天花板也應采用不易積塵、易于清潔的材料,如不銹鋼板、鋁板、PVC地板、環氧自流平地坪等,以減少靜電的產生和積聚。
潔凈度監測也是電子芯片凈化車間不可或缺的一部分。為了實時監測車間的潔凈度,車間內通常會安裝有潔凈室內監測系統和室內空氣檢測系統。這些系統能夠定期測量空氣質量,檢測是否符合要求,從而確保車間的潔凈度始終保持在規定的范圍內。此外,為了保持車間的潔凈度,車間內還會安裝有自動噴霧系統和潔凈室內消毒系統,以防止空氣污染物的污染和確保車間的潔凈度。
在電子芯片凈化車間的設計和施工過程中,還需要考慮多個方面的細節。例如,車間的平面布局應合理規劃,確保各區域之間的有效隔離,減少交叉污染的風險。同時,送風口和回風口的位置也應合理設置,以確保室內氣流均勻、穩定,避免死角和渦流的產生。此外,車間的門窗應采用密封性好的材質,并設置自動感應門以減少人員進出時帶入的灰塵和微生物。
在設備選擇方面,電子芯片凈化車間通常采用無塵、易清潔的LED燈具,其布置應充分考慮工作面的照明需求,避免產生眩光和陰影。同時,照明系統應具有防靜電功能,以確保車間的安全。此外,車間內還應配備相應的消防設施和緊急出口等應急設施,以確保在緊急情況下能夠迅速疏散人員并控制火勢。
除了上述技術要求外,電子芯片凈化車間的建設還需要遵循一系列嚴格的標準和規范。例如,潔凈度等級的劃分應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》(GB 50073)的規定。對于百級芯片潔凈廠房,其潔凈度要求極高,即車間內每立方米的空氣中塵埃粒子數不超過100顆粒徑大于0.1微米的粒子。為了滿足這一要求,車間內必須采用高效、穩定的空氣凈化系統,并嚴格控制車間的溫濕度和氣流流型。
此外,在施工過程中,還需要注意對已完成部分的保護,避免造成損壞和污染。同時,還應注重細節處理,如管道的連接處、燈具的安裝固定等,以確保施工質量和進度。在施工完成后,還應進行空氣潔凈度檢測、外觀檢測和安全與環保檢測,確保符合相關法規和標準,并由相關部門出具驗收合格證明。
綜上所述,電子芯片凈化車間的技術要求涵蓋了空氣凈化、溫濕度控制、靜電防護、潔凈度監測等多個方面,形成了一個綜合的系統工程。這些技術要求的綜合運用能夠有效地去除車間內的塵埃、微生物等污染物,保障車間的潔凈度和產品質量。同時,這些技術要求也體現了對細節的關注和對標準的遵循,從而確保了芯片生產過程的穩定性和可靠性。在未來的發展中,隨著科技的不斷進步和芯片生產工藝的不斷優化,電子芯片凈化車間的技術要求也將不斷升級和完善,以適應更高層次的生產需求和產品質量要求。